刘明

《真空科学与技术学报》主编

中国真空学会副理事长
中国科学院微电子研究所研究员

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《真空科学与技术学报》编委

华中科技大学电子科学与技术系

先进材料与信息技术研究所所长

教授、博士生导师

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