刘明

《真空科学与技术学报》主编

中国真空学会副理事长
中国科学院微电子研究所研究员

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《真空科学与技术学报》编委

华南理工大学电子与信息学院副院长

博士研究生导师

广东省真空学会常务理事

广东省半导体与集成技术专业学会副主任

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