真空科学与技术学报

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刘明

《真空科学与技术学报》主编

中国真空学会副理事长

中国科学院微电子研究所研究员

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邹蒙

《真空科学与技术学报》编委

北京中科科仪技术发展有限责任公司研究员研发中心主任

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