《真空科学与技术》学报在量化指标方面取得的成绩：
1. 1992年，《真空科学与技术》学报选入首届“1992-1993年中国自然科学核心期刊”。从1992年起每4年评审一次核心期刊，到2008年是第5次，《真空科学与技术学报》一直都被列入核心期刊。2008年版的评价指标体系由九个评价指标组成。下表是《中文核心期刊要目总览》2008年版评价指标统计给出的数据：
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刊物
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隶属度
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数据
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真空科学与技术学报
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0.110541692
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被索量:24 被摘量:32 被引量:89
它引量:86 被摘率:0.2623 影响因子:0.0322
获奖等:7 基金论文比:0.1044 WEB下载量:9477
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2. 1996年美国工程信息公司中国信息部向学报颁发了证书：“《真空科学与技术学报》被美国工程信息公司（EI）定为EI Compendex数据库收录期刊”。由于EI收录的期刊被公认为是高水平的期刊，被EI收录的文章是高水平的文章，学报成为EI收录的期刊是学术水平提高的一个标志性进步。下表为2002年以后学报的EI收录率。
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年
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EI收录篇数
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EI收录率
（占当年发表文章数的百分比）
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2002
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57
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49.1％
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2003
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41
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38.0％
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2004
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109
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93.2％
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2005
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108
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93.9％
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2006
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133(含增刊)
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82.1％
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2007
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114
|
93.4％
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2008
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122
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98.4%（从第2期起100％）
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2009
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141
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100%
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2010
|
142
|
100%
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到2008年，EI收录中国科技期刊共153种，其中收录英文期刊30种，各大学学报36种。中国科协及全国学会的科技期刊被EI收录的有107种，我们的学报能列在百种被EI收录的期刊中，表明其学术水平。
3. 到目前为止，《真空科学与技术学报》被收录的情况如下：（1）被国际检索系统EI、CA、SA、INSPEC等收录。（2）国际刊名代码为CKKSDV。（3）历次的“中文核心期刊要目总览”中，《真空科学与技术学报》都被列为中文核心期刊。（4）从1998年起加入国内Chinainfo中文网络信息的《中国学术期刊文摘》，该文摘仅收录国内约250种优秀科技期刊。（5）学报被国内《中国化学文摘》、《中国电子科技文摘》和《中国无线电文摘》等期刊收录。（6）学报被中国科学院文献情报中心、中国社会科学院文献信息中心、北京大学图书馆等共同确定为《中国科学引文数据库》和《中国学术期刊综合评价数据库》来源期刊。（7）学报被“中国期刊网”和“中国学术期刊（光盘版）”全文收录。（8）自2010年4月中国知网—中国学术期刊网络出版总库收录（独家全文收录）。
4. 影响因子
下表是中国科学文献计量评价研究中心“中国学术期刊综合引证年度报告”给出的数据。
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年
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影响因子
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总被引频次
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他引总引比
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即年指标
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5年影响因子
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2002
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0.2669
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139
|
0.7122
|
0.0172
|
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2003
|
0.3112
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198
|
0.8232
|
0.037
|
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2004
|
0.317
|
265
|
0.8792
|
0.025
|
|
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2005
|
0.356
|
280
|
0.810
|
0.009
|
|
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2006
|
0.409
|
482
|
0.93
|
0.074
|
0.442
|
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2007
|
0.456
|
502
|
0.843
|
0.041
|
0.446
|
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2008
|
0.943
|
588
|
0.62
|
0.056
|
0.639
|
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2009
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0.980
|
664
|
0.57
|
0.050
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近几年来正刊稿件录用率情况如下：
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年
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正刊发表论文篇数
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当年收到稿件篇数
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录用率
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2003
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108
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206
|
52.4%
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2004
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117
|
209
|
56.0%
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2005
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115
|
216
|
53.2%
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2006
|
122
|
230
|
53.0%
|
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2007
|
122
|
234
|
52.1%
|
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2008
|
124
|
283
|
43.8%
|
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2009
|
141
|
338
|
41.7%
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2010
|
142
|
284
|
50%
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