刘明

《真空科学与技术学报》主编

中国真空学会副理事长
中国科学院微电子研究所研究员

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双螺杆真空泵新型椭圆弧修正正弦螺旋线螺杆转子设计与模拟

李腾 赵玺皓 王君* 魏蜀红 陈昶润
真空科学与技术学报,2023,第43卷,第10期,841-847页。
DOI:10. 13922 / j. cnki. cjvst.202303009
引用格式:
T.Li,X.H.Zhao,J.Wang,S.H.Wei,C.R.Chen,Design and Simulation of a Novel Elliptical Arc Modified Sinusoidal Helical Screw Rotor for Twin-Screw Vacuum Pumps,Chin. J. Vac. Sci. Tech, 43,10,841-847(2023)
 
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文章简介

 

双螺杆式真空泵具有结构简单、工作平稳、干式清洁无油等优点,可在复杂工况下稳定运行,在半导体、化学、食品和医疗等多个行业广泛应用。双螺杆真空泵的密封性、抽速以及极限真空度都由转子截面型线决定。传统摆线-渐开线型截面型线,由齿顶圆弧、齿根圆弧、摆线和圆渐开线四条曲线组成。然而,由这种传统截面型线生成的螺杆转子,存在以下问题:截面型线有尖点不完全啮合,接触线不连续且泄漏通道大。

本文针对上述问题,建立正弦螺旋线和椭圆弧及其共轭曲线的啮合模型,设计了一种新型正弦螺旋线-椭圆弧转子,并推导了其型线方程;通过对螺杆转子几何特性的分析和工作过程的数值模拟,比较了传统螺杆转子和新型转子的不同。结果表明:所提出的新型转子接触线长度缩短了2.54%,泄漏三角形面积减小了27.77%,且齿顶泄漏深度明显小于现有转子,具有更好的密封性能,显著提高了双螺杆真空泵的工作性能,对于改善双螺杆真空泵泄漏具有重要的理论意义和实际工程价值。

 

 

 
通讯作者简介

 

 

王君,教授,工学博士,博士生导师,研究方向主要为:高效泵和压缩机创新设计与开发(涡旋式、螺杆式、爪式、罗茨式、滑片式、叶轮式)、流体机械工作特性(热力过程、内流CFD模拟、动力特性、振动噪声、故障诊断)、流体机械高效能源系统(新能源热发电、真空系统、制冷系统、热泵系统),主持2项国家自然科学基金项目,10余项省部级课题,并参与多个国家、省部级科技项目;以第一作者/通讯作者发表论文百余篇,其中SCI/EI论文60余篇,包括顶级期刊TOP论文5篇;以第一发明人授权国家发明专利70余项。担任国家自然科学基金的通讯评审专家;教育部学位中心论文评审专家;担任中国机械工程学会高级会员、中国机械工程学会流体工程分会委员。

 

 

团队简介

 

团队长期从事容积式流体机械(往复式、涡旋式、爪式、螺杆式、罗茨式、滑片式和齿轮式等)的研究,研究内容包括:流体机械新产品研发、工作过程模型、整机优化设计、性能预测、内部流动模拟、啮合副型线设计、核心部件力学性能、加工制造和应用等方面,依托中国石油大学(华东)“教育部石油石化新装备与技术工程研发中心”、“山东省化工装备重点实验室”和“石油工业训练中心”,围绕特殊用途、高参数运行工况、特殊性能要求的流体机械的基础理论、数值模拟、优化设计及其应用等方面展开了系统的研究。特种流体机械实验室成员包括教授2人、副教授、高级工程师和讲师等8人,博士生和硕士生40余人。

 

 

 

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