刘明

《真空科学与技术学报》主编

中国真空学会副理事长
中国科学院微电子研究所研究员

主  编 刘 明      
副主编 时东霞 顾 宁 侯士敏 田修波
  张远波 张余洋    
编  委 (以汉语拼音为序)
  陈 静 邓少芝 狄增峰 董振超
  段 炼 范 平 干蜀毅 顾长志
  郭建东 郭太良 韩高荣 韩建华
  胡 征 蒋友荣 李得天 李争显
  刘冰冰  刘国青 刘彭义 刘益春
  卢耀文 潘 峰 彭练矛 任 妮
  孙立臣 孙立涛 王宏兴 王琼华
  王晓冬 肖旭东 徐法俭 严 辉
  殷立新 张 平 张永明 张 勇
  张振厚 赵红卫 周 军 周 鹏