刘明

《真空科学与技术学报》主编

中国真空学会副理事长
中国科学院微电子研究所研究员

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灵敏度是反应电离规性能的重要参数。本文基于粒子光学仿真软件SIMION8.1,设计了一种精确度高、适用范围广、操作简便的全离散化轨迹计算方法,用于精确模拟带电粒子运动轨迹,求解有效电离空间,计算有效电子轨迹长度,利用BEB模型计算电离截面,最终得到灵敏度。该方法有效减小了不同结构和电极电压下收集效率和电离截面的误差,显著提高了数值计算精度。文章作为封面文章发表在《真空科学与技术学报》第42卷,第3期,170-177。

 

 
 

文章简介

 

本文设计了一种精确计算电离规灵敏度的模拟方法,实验验证了该方法的有效性。对于热阴极电离规和冷阴极电离规,实验与理论结果偏差分别为5.6%,4.5%。该方法为后续电离规优化设计提供了有效的研究途径,也进一步推广应用于其他电真空器件的理论研究。

 

 

 
更多内容请见《真空科学与技术学报》第42卷,第3期,170-177页。
DOI:10. 13922 / j. cnki. cjvst.202110018
引用格式:J.Wei,D.LI,Y.Cheng,Y.Hou,J.Ge,P.Yao,H.Zhang,Sensitivity Calculation of Ionization Gauge Based on an Accurate Numerical Method, Chin. J. Vac. Sci. Tech, 42, 3,170-177(2022)     
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团队简介

 

 

研究团队长期从事真空计量及真空环境下多参数综合测试技术研究,先后承担科技部重点研发计划、国家自然科学基金杰出青年基金、国家自然科学基金重大科研仪器、国防973项目、军科委基础加强等重大项目,突破了真空中性气体、真空等离子体以及真空环境效应的系列测试计量难题,研制了系列真空计量标准装置、电推进真空等离子体测试系统、真空测量仪器、大型真空模拟测试装置等真空装备及仪器。在国际上首次建成了常温下超高/极高真空标准装置,率先延伸气体微流量测量下限到10-12Pam3/s,建立了我国较完整的真空测试计量体系。该团队先后获得“国家技术发明二等奖”“国家科技进步二等奖”为代表的科技奖励数十项,主导制定了真空测试计量技术领域的ISO国际标准、国家标准以及行业标准30余项。研究成果在地面、近地轨道和宇宙深空获得了全面持续应用。
 
 
 
 
 

通讯作者简介

 

 

 

 
李得天,19666月生,兰州空间技术物理研究所科技委主任,中国工程院院士。任中国真空学会副理事长、中国计量测试学会副理事长、中国宇航学会电推进专委会副主任、真空技术与物理国防科技重点实验室常务副主任、《真空与低温》期刊主编等职。
李得天是真空测试计量领域学术带头人,长期从事真空计量及真空环境下多参数综合测试工程研究。他带领团队解决了真空中性气体、真空等离子体和复杂真空效应的测试计量难题,在计量技术、计量标准、测试装置和工程应用等方面做出了系统性贡献,建立了我国较完整的真空测试计量体系。发表学术论文200余篇,出版著作8部。以第一完成人获国家技术发明二等奖1项、国家科技进步二等奖1项、省部级一等奖8项,获何梁何利科技创新奖、全国创新争先奖、中国真空科技成就奖、航天创新奖、航天贡献奖等。
 

原文链接

 

 

 

 

 

 

 

期刊简介

      《真空科学与技术学报》是中国真空学会主办,中国科学技术协会审定的国家级自然科学技术刊物。月刊,国内外公开发行。

     《真空科学与技术学报》创刊于1981年,是全国中文核心期刊。《真空科学与技术学报》长期被CA和SA等国际著名检索系统收录,已全文上网。 
       在国内,本学报被北京大学图书馆、北京高校图书馆期刊工作研究会共同确定为中文核心期刊;中国科学院文献情报中心、中国社会科学院文献信息中心、中国学术期刊(光盘版),电子杂志社和北京大学图书馆共同确定为《中国科学引文数据库》和《中国学术期刊综合评价数据库》来源期刊,《中国学术期刊(光盘版)》全文收录。 

      《真空科学与技术学报》报道的主要内容:真空科学与技术、薄膜物理与工艺、表面与界面物理、应用表面科学、物理电子学、电子材料及处理、纳米科学与技术、电真空技术、核真空技术及真空冶金等。

 

 
 

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