真空科学与技术学报

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人物专栏

刘明

《真空科学与技术学报》主编

中国真空学会副理事长

中国科学院微电子研究所研究员

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中国真空学会

学报动态

封面文章丨纳米低温生物医学研究进展[2023/6/7]

封面文章丨面向水平GAA内侧墙模块的干法Si0.7Ge0.3选择性刻蚀研究[2023/5/25]

科普专题丨面向未来信息器件的原子制造技术[2023/5/25]

封面文章丨深度学习赋能微纳光子学材料设计研究进展[2023/4/26]

MBE/MOCVD专题[2023/4/13]

热烈祝贺《真空科学与技术学报》7位编委入选2022年度爱思唯尔“中国高被引学者”[2023/3/30]

封面文章丨封面文章丨真空管道双层衬砌结构力学特性研究[2023/3/10]

关于《真空科学与技术学报》新版官方网站、微信服务号上线的通知[2023/3/3]

科普专题丨“电磁超材料：能否将科幻带入现实？”[2023/2/22]

封面文章丨磁悬浮转子真空计转子轴向悬浮建模与优化设计[2023/2/15]

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