利用扫描电子显微镜对不导电样品的成像过程中，荷电效应会导致图像产生畸变、漂移、亮点亮线等缺陷。二次电子成像形貌立体感较好但是容易产生荷电现象，背散射电子成像受荷电影响较小但是一般形貌衬度较差。本文借助Apreo 2S场发射扫描电镜，针对不导电样品在不镀膜的情况下，通过优化工作模式、探测器和工作距离等参数来调控电子信号，巧用低角电子，得到形貌衬度明显的高分辨图像。从二次电子角度出发，使用Optipan模式配合T2探测器通过缩短工作距离以收集低角二次电子从而减弱荷电效应。从背散射电子角度出发，放大倍数较低时可使用Optipan模式配合ETD探测器获得形貌立体感好的高分辨图像，放大倍数高时可使用Immersion模式配合T1探测器缩短工作距离下以得到最佳图像。

通讯作者简介

李琳，女，上海交通大学化学化工学院，实验师，主要从事新能源及电催化材料开发、显微技术分析领域的研究工作。已发表学术论文20余篇，获授权发明专利5项，参编教材1本。

团队简介

该团队为上海交通大学化学化工学院分析测试中心，拥有大型贵重精密仪器设备70余台，配置有热分析、光谱分析、色谱分析、波谱分析、显微分析、质谱分析及理化性能等测试分析平台，从而建立了对材料成分、结构、形貌及性能等方面系统表征的能力，为高性能材料的设计与合成提供高效、准确的数据支持。近年来，团队承担了多项国家级科研项目的分析表征任务，助力高水平科研成果的发表。