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消除磁控溅射Cr薄膜应力环状缺陷的工艺优化
付学成;陈亮;王英;杜鸿基;史凯旋;针对磁控溅射沉积Cr薄膜中出现的周期性同心圆条纹及应力环状缺陷问题，本文提出了一种通过工作气压调控结合双靶共溅射的工艺优化方案。通过系统实验对比了不同气压及靶位布局对应力分布的影响。结果表明，提升工作气压并引入双靶共焦正对溅射技术，可显著增强溅射粒子在输运过程中的散射作用，有效减弱高能粒子对基片的轰击。优化后的工艺成功消除了薄膜表面的同心圆条纹缺陷，并显著改善了应力分布的均匀性，为高质量铬薄膜的制备提供了可重复的技术路径。
负压隔膜泵结构优化及性能验证
雷月霞;吴兵;曹俊峰;巩创军;负压隔膜泵通过隔膜往复运动实现流体输送，具备深度真空抽取与高压流体压缩的功能，在精密流量及真空控制等领域得到广泛应用。负压隔膜泵所能达到的负压值及负压稳定性是影响流量、噪声和负载振动的关键，本文基于减小隔膜形变占用体积以提高隔膜泵负压性能的原理，提出了增大隔膜刚性支撑横梁尺寸、降低偏心轮偏心量的高负压隔膜结构设计优化方法；并对其改进优化效果进行了实验验证。实验结果表明，改进优化后的负压隔膜泵相比改进前，稳态负压值提升4.8%，输出流量增加7.0%，运行噪声声压级降低11.1%，关键测点振动加速度降低34.9%；加速老化后的各项性能指标衰减程度也有显著降低。所提出的结构优化设计方法能有效实现负压隔膜泵在高负压、低扰动方向上的性能定向提升，同时也增强了产品的耐久性与可靠性。
JCPY-4.2D真空镀膜机器人设计仿真与性能试验
袁虎成;朱文丽;刘强;张世国;针对大型复杂曲面工件真空镀膜的高精度、多层膜系制备需求，研发JCPY-4.2D真空镀膜机器人系统。该机器人采用5自由度直角坐标+回转结构设计，适配工作温度15℃～120℃、工作压力2×10?3 Pa环境下的磁控溅射镀膜，可实现30kg负载下±1mm重复定位精度和±3mm靶基距控制精度。通过SolidWorks完成本体结构建模与干涉校验，基于ANSYS开展关键部件静力学仿真，利用Unity3D开发数字孪生实时仿真系统，结合EtherCAT总线实现多轴协同控制。预验收与终验收实验结果表明：机器人真空环境下最大运动速度达2.87m/min(满足3m/min设计要求的95.7%)，重复定位精度实测0.78mm，所镀制3300mm×1300mm×800mm异形工件ITO薄膜方阻均匀性为±4.37%，优于±5%的技术指标。该机器人系统解决了复杂曲面跟踪镀膜难题，为航空航天、军工等领域大型精密构件的镀膜加工提供了可靠技术方案。
涡轮分子泵跨流态模拟及结构灵敏度分析
蒲小琴;匡永麟;杜志华;王晓冬;针对超高真空获得中以氢气为代表的轻气体难以有效抽除，以及涡轮涡轮分子泵在跨流态(由分子流向过渡流转变)区域抽气效率显著衰减及结构设计缺乏理论指导的问题，本文采用基于 OpenFOAM 的直接模拟蒙特卡洛(DSMC)方法，建立了涡轮级二维叶列的数值计算模型。在验证了模型网格无关性并与Kruger理论值及Sawada实验数据进行对比验证的基础上，系统研究了不同流态下入口压力、转速比及结构参数(节弦比、叶列倾角)对抽气性能的敏感性规律，并利用等值线图揭示了工作压力与主要几何参数间的耦合影响规律。结果表明：随着流态从分子流进入过渡流，分子间碰撞频率增加导致抽气性能呈对数级下降，且高压下转速提升带来的性能增益逐渐饱和；Hmax在节弦比约为 1.2 时达到峰值，而Kmax随节弦比增大单调递减；最优叶列倾角存在随压力升高向小角度漂移的现象。此外，针对氢气压缩比极低的特性，本文从微观分子运输与碰撞机理层面解释了分段节弦比和变角度叶型等变参数涡轮叶列的物理合理性，为高性能涡轮分子泵的结构提供了理论依据。
介质阻挡放电非平衡态等离子体处理含聚废水油水分离实验研究
李森;钱远航;顾艳玲;胡子康;马婷婷;何鑫;徐凯;针对聚合物驱油废水高黏度、强乳化稳定性导致油水分离困难的问题，构建了介质阻挡放电（DBD）结构的非平衡态等离子体反应器，开展了模拟含聚废水油水分离实验。系统考察了溶液浓度、油水体积比、放电电压、放电时间及电极配置等因素对油去除行为的影响，并结合溶液黏度及水质参数变化分析分离机理。结果表明，在HPAM 质量浓度 1 g/L、油水体积比 1:100、放电电压峰值 30 kV、单电极配置、处理时间 12 min 条件下，油去除率可稳定达到 99%以上。处理过程中溶液黏度由 180.7 mPa·s 降至 58 mPa·s，且与油去除率呈负相关。机理分析认为，非平衡态等离子体通过氧化作用与离子环境调控的协同机制实现对含聚废水体系结构的调控，降低体系黏度，从而实现高效油水分离。
脉冲电压大小对2024铝合金表面沉积DLC薄膜性能调控机制研究
刘晗程;孙舒雅;陈东旭;邓洪运;采用等离子体增强化学气相沉积技术，在2024铝合金表面沉积类金刚石（DLC）薄膜，研究了脉冲电压对薄膜微观键合结构、表面形貌以及整体服役性能的影响。结果表明，随脉冲电压升高，薄膜厚度不断增大，氢含量及C–H键逐渐减少，sp杂化键含量升高，表面粗糙度呈先降低后升高的趋势，在1800V时薄膜最为平整且致密。薄膜与基体的结合强度随电压增加而降低，高电压下内应力显著增大。薄膜硬度和弹性模量随电压先升高后降低，在1800V时分别达到16.75GPa和139.4GPa，同时摩擦系数最低、H/(Ef)值最高，表现出优异的耐磨性能。在3.5 wt%的NaCl介质中，DLC 薄膜作为有效的物理屏障，显著抑制了基体的电化学腐蚀过程。其中1800 V 电压下制备的薄膜展现出最大的阻抗与极低的孔隙率，具备最优异的综合耐蚀性能。脉冲电压作为关键工艺参数，调节了等离子体密度与轰击能量，从而主导了薄膜力学特性与化学稳定性的演化规律，进而影响DLC薄膜的力学性能及腐蚀行为。相应机理为铝合金表面高性能DLC防护涂层制备奠定了坚实的理论基础。
锆掺杂氧化镁-金薄膜二次电子发射性能研究
陈慕尧;杨济世;彭友炜;吴胜利;李洁;胡文波;随着真空电子技术的发展，一系列仪器设备需利用高增益、快响应、长寿命的电子倍增器来提升综合性能。为满足真空电子领域对高性能电子倍增器的需求，本文研究了一种基于锆掺杂的氧化镁-金薄膜。利用Materials Studio软件的CASTEP模块对MgO掺杂Zr的情况进行第一性原理计算，分析几何优化后超晶胞的电子结构得出，进行Zr掺杂后晶体禁带宽度变窄、特定晶面的功函数降低，为后续实验提供支撑。利用磁控溅射法进行薄膜制备，测定其二次电子发射性能并与MgO-Au薄膜进行对比，通过多种表征手段深入分析薄膜性状，结果显示，与MgO-Au薄膜相比，0.06%～0.18%的Zr掺杂含量能够有效改善薄膜二次电子发射性能，逐步提升Zr掺杂含量会使薄膜二次电子发射性能优化程度先升高后降低，Zr掺杂含量为0.12%时效果最优，为该薄膜的工程应用提供了重要的工艺窗口参考。
低真空节流元件内颗粒团聚与沉积仿真研究
王泽涛;张克杰;华伟健;阮仁晖;刘鹤欣;闫昊;车军;武中地;谭厚章;本研究通过数值模拟的方法研究了低真空条件下(4000 Pa)UF6气流中的亚微米UO2F2颗粒(0.2 μm和1 μm)在管道内的团聚和沉积特性。在欧拉-拉格朗日框架下构建了用于描述气固两相流中颗粒团聚和沉积的动力学模型，其中团聚模型考虑了湍流团聚和布朗团聚，沉积模型是基于能量守恒的临界速度模型。在此基础上研究了节流件结构、气体流量和粒径对颗粒沉积和团聚特性的影响规律。结果表明：低真空条件下，带孔板的管道和带阀门的弯管内，惯性分离是颗粒沉积的主要机制，大粒径颗粒的沉积比例高于小粒径颗粒。在带孔板的管道内，颗粒主要受回流气体夹带而沉积在孔板下游管道壁面，沉积位置的形状呈环状和柱面形状；增加气体流量会增加孔板上下游的压比，使孔板下游局部位置的气体达到超声速，增大回流区强度，卷吸更多颗粒，进一步增加颗粒的沉积比例。在带阀门的管道内，颗粒主要沉积在附近存在回流区的管道壁面，沉积位置的形状呈特有的3个环状(低流量下)或柱面形状(高流量下)。由于孔板的节流效应大于阀门，孔板管道内颗粒的惯性分离作用更显著，因此孔板内颗粒的沉积比例更高。湍流耗散率和碰撞核函数的分析表明，带孔板的管道内，气体流量为90 g/s时，湍流碰撞和布朗碰撞在颗粒长大过程中贡献相似；其他工况下，布朗碰撞在颗粒长大过程中贡献大于湍流碰撞。
W波段修正矩形环对角双杆行波管研究
何锐;汤鹏;廖永森;高嘉欣;魏望和;当代真空电子技术的发展，对行波管的工作频段、工作带宽以及电子效率提出了更高的要求。为了迎接下一代卫星通信领域里新的挑战，本文开展W波段修正矩形环对角双杆慢波结构行波管研究。在详细分析行波管慢波结构的高频特性基础上，获得了平坦色散、高互作用阻抗的矩形环对角双杆慢波结构参数，而采用相对较细的连接杆可以获得更大的互作用阻抗。采用侧面共面输入输出耦合器，在70-110GHz频带范围内获得了S11<-22.1 dB的良好传输。PIC计算结果表明，在10250V电子注电压和0.096 A工作电流的条件下，矩形环对角双杆行波管在99 GHz频点处可以提供77.15 W的最大输出功率，对应微分增益和电子效率分别为1.47 dB/mm和7.84%，其3 dB带宽达到14 GHz(87～101 GHz)。
弧形转子的叶片弧度对套轴式对转水力空化反应器空化性能影响的研究
庄鹏;管思桐;王彩霞;周子谦;葛艺;宋永兴;水力空化技术是一种新型高效氧化技术，广泛应用于工业废水处理、能量转化和环境保护，具有成本低、能效高、操作简便等优点。本文根据实验室已有的套轴式对转水力空化反应器，提出三种不同弧度的弧形转子，研究叶片弧度和转速对套轴式对转水力空化反应器性能的影响，利用Fluent软件进行了模拟计算和参数对比分析。结果显示，叶片弧度与转速共同影响空化表现。2400r/min时，60°叶片空化最强但区域集中，空化体积为331564.1mm3，90°叶片性能均衡，120°叶片最弱；3000r/min时，120°叶片空化体积达到最大，60°和90°叶片性能也提升；4200r/min时，60°和120°叶片因流场失稳性能下降，而90°叶片凭借流道设计优势性能持续增强，稳定性最好。本研究创新性地设计了双转子对转空化反应器，利用逆向旋转克服了单转子结构的空化不均问题，实现了全域强化。