1.《真空科学与技术学报》刊载论文形式：研究论文、研究快报、综述评述、科普专栏、技术交流。
2.《真空科学与技术学报》刊载论文内容包括真空技术与标准、薄膜物理与工艺、表面与界面物理、应用表面科学、物理电子学、电子材料与处理、纳米科学与技术、真空冶金、电真空技术、核真空技术、宇宙真空学等。
3.文章录用考虑的因素：
（1）与真空科学与技术的相关性强；
（2）选题重要或新颖；
（3）原创性论文创新性强，研究快报有重要的首创性成果，综述评述由领域内做出重要相关工作的团队撰写，具有较强的前瞻性和指导性；
4.文章退稿的常见原因：
（1）无重要和创新的工作内容；
（2）研究方法和结果不可信，或有基本概念错误，或无法支撑主要结论；
（3）对研究结果的理论解释不充分；
（4）文章写作质量太差；
（5）其他原因。
5. 审稿方式
审稿人登陆期刊网站在线审稿，如果审稿意见中有大量数学符号和公式，可将之单独存一份一份 word 文件，通过附件上传方式提交您的审稿意见。
6. 审稿时间
为加快稿件处理速度，请审稿专家一般在收到稿件的15天之内返回审稿意见，如有特殊情况可以适当延期。采编系统在第14天时会自动发送邮件提醒，超过后编辑部将人工提醒。
7. 审稿过程
为节省作者和审稿专家的时间，编辑部会对所有来稿进行查重和初审，新意不足或内容不适合《真空科学与技术学报》的文章会被直接退稿，不再送外审。初审通过的稿件编辑部会送至少两位专家进行外审，外审通过的稿件将由正副主编和编委进行终审，根据专家的审稿意见、作者修改情况以及本刊的要求等因素决定是否录用该稿件。
8. 复审
某些情况下，作者的修改稿会请审稿专家复审，请专家根据作者的修改说明和修改情况给出是否采用的最终建议。
9. 作者申诉稿审查
编辑部一般会将作者的申诉稿和申诉说明送原审稿专家再次审查，请原审稿专家针对作者的申诉给出回复，并对申诉稿给出明确意见。如果作者要求回避原审稿专家，编辑部可考虑加送其他审稿专家审查，终审主编根据申诉复审专家的审稿意见做出最终决定。
10. 审稿人的选择
审稿专家的选择对于维护期刊的学术质量至关重要，编辑部选择审稿人时会综合考虑多个因素，包括专业水平、信誉、学术公正性、审稿意见是否详实，以及审稿速度等，编辑部会尽量避免选择审稿意见粗略笼统、审稿过于苛刻或宽松、审稿时间拖延过长的审稿专家。
11. 匿名和信息安全
《真空科学与技术学报》采用单盲审稿制，在整个审稿过程中，审稿专家的信息对作者保密，审稿专家如有不便直接给作者查看的意见可以在审稿网页上给编辑部意见栏中单独填写。审稿专家应对所审稿件的实验数据和主要学术成果保密。若有其他同事与您一起评审稿件，请将其姓名和联系方式附到审稿意见里，告知编辑部。在审稿过程，请勿与作者进行讨论，可联系送审编辑。