2009 02 v.29 184-187
划痕法综合评定膜基结合力
基金项目(Foundation):
国家自然科学基金广东省联合基金重点项目(No.U0734001);;
国家自然科基金(No.50874050);;
广东省科技计划(No.2007B010600043,2006A11002001,No.2007B010600007);;
广州市科技计划(No.2006Z2-D0131,No.2006B2-D0121与No.2006Z3-D0281)的资助
邮箱(Email):
DOI:
10.13922/j.cnki.cjovst.2009.02.012
中文作者单位:
华南理工大学材料科学与工程学院,金属材料科学与工程系;广东省特种设备检测院;
摘要(Abstract):
用划痕实验探索了综合表征膜基结合力的方法。在瑞士CSM仪器的微划痕测试仪(Micro-Scratch Tester,MST划痕仪)对真空多弧离子镀设备制备的WC-Co/TiN膜基结合力进行划痕实验,系统地介绍了如何利用MST划痕仪所测的声发射数据、摩擦力数据及光学、电子扫描划痕形貌来综合评定膜基结合力,并用WS-92划痕仪对评定结果进行验证。评定结果表明,单一的声发射图谱或摩擦力曲线不能准确判定膜基结合力的表征值临界载荷,声发射图谱、摩擦力曲线与划痕形貌综合评定临界载荷结果才可信。WS-92划痕仪测量的结果验证了MST划痕仪评定结果的准确性。
关键词(KeyWords):
划痕试验;;结合力;;综合评定;;WC-Co/TiN
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参考文献
[1]田晶泽,夏立芳.真空科学与技术学报,1999,19(4):296-300
[2]齐峰,王志浩,张琦,等.真空科学与技术学报,2006,26(5):368-371
[3]龚朝阳,罗学涛,张颖,等.真空,2006,43(5):19-22
[4]Valli J.J Vac Sci Tech A,1986,4(6):3007-3014
[5]Burnett P J,Rickerby D S.Thin Solid Films,1988,157:233-254
[6]Lawn B R,Evans A G,Marshall D B,et al.J Am Ceram Soc,1980,63(9-10):574-581
[7]Bull S J,Berasetegui E G.Tribol Int,2006,39:99-114
[8]Randall N X,Favaro G,Frankel C H,et al.Surf Coat Tech-nol,2001,137:146-151
[9]Wittling M,Bendavid A,Martin P J,et al.Thin Solid Films,1995,270:283-288
[10]Steinmann P A,Tardy Y,Hintermann H E,et al.Thin SolidFilms,1987,154:333-349
[11]Oliver W C,Pharr G M.J.Mater Res,1992,37(6):1564
[12]Zhang S,Sun D,Fu Y,et al.Thin Solid Films,2004,447-448:462-467
[13]Shi X W.Preparation and Properties study of superfine TiNand multi-layer TiN films.Guangzhou:South China Universi-ty of Technology,2004
[14]Ahn J,Mittal K L,MacQueen R H,et al.Philadelphia,PA,USA:ASTM,Philadelphia,Pa,1978
[2]齐峰,王志浩,张琦,等.真空科学与技术学报,2006,26(5):368-371
[3]龚朝阳,罗学涛,张颖,等.真空,2006,43(5):19-22
[4]Valli J.J Vac Sci Tech A,1986,4(6):3007-3014
[5]Burnett P J,Rickerby D S.Thin Solid Films,1988,157:233-254
[6]Lawn B R,Evans A G,Marshall D B,et al.J Am Ceram Soc,1980,63(9-10):574-581
[7]Bull S J,Berasetegui E G.Tribol Int,2006,39:99-114
[8]Randall N X,Favaro G,Frankel C H,et al.Surf Coat Tech-nol,2001,137:146-151
[9]Wittling M,Bendavid A,Martin P J,et al.Thin Solid Films,1995,270:283-288
[10]Steinmann P A,Tardy Y,Hintermann H E,et al.Thin SolidFilms,1987,154:333-349
[11]Oliver W C,Pharr G M.J.Mater Res,1992,37(6):1564
[12]Zhang S,Sun D,Fu Y,et al.Thin Solid Films,2004,447-448:462-467
[13]Shi X W.Preparation and Properties study of superfine TiNand multi-layer TiN films.Guangzhou:South China Universi-ty of Technology,2004
[14]Ahn J,Mittal K L,MacQueen R H,et al.Philadelphia,PA,USA:ASTM,Philadelphia,Pa,1978
基本信息:
DOI：10.13922/j.cnki.cjovst.2009.02.012
中图分类号:TB383.2
引用信息:
[1]瞿全炎,邱万奇,曾德长等.划痕法综合评定膜基结合力[J].真空科学与技术学报,2009,29(02):184-187.DOI:10.13922/j.cnki.cjovst.2009.02.012.
基金信息:
国家自然科学基金广东省联合基金重点项目(No.U0734001);; 国家自然科基金(No.50874050);; 广东省科技计划(No.2007B010600043,2006A11002001,No.2007B010600007);; 广州市科技计划(No.2006Z2-D0131,No.2006B2-D0121与No.2006Z3-D0281)的资助